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金属有机化学气相沉积系统 主要功能：该MOCVD系统主要用在蓝宝石、单晶硅等衬底上生长高质量GaN、AlN、AlGaN等外延材料、多量子阱结构和纳米材料。 …… more>>

热化学气相沉积系统 主要功能：主要用于硅锗（SiGe）纳米线、碳纳米管（CNT）、石墨烯（Graphene）、氧化锌（ZnO）纳米线的生长，以及对晶硅和二氧化硅（SiO2）薄膜的可控生长 …… more>>